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纳米型3D影像检测仪

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纳米型3D影像检测仪
纳米型3D影像检测仪系列结合相移垂直扫描的技术与显微光干涉技术,不需要复杂光路调整程序,即可在非接触、无破坏、普通大气环境下完成3D奈米深度高度的表面检测分析,不仅提供3D表面形状和表面纹理的分析,更可提供镜面表面的奈米级粗糙度和台阶高度分析,并追溯至ISO规范。
纳米型3D影像检测系列具有极强的测量能力,可在几秒内就完成整个视场的扫描,得到测量样品的3D图形与高度深度数据,检测速度与深度量测能力优于逐点逐面扫描的共焦扫描显微镜,3D图形量测能力又优于扫描式电子显微镜的2D平面检测能力,且不需要使用电子束或雷射,开机快又安全,维护成本更低。无论是抛光面,还是粗糙面,甚至是高透明材质(例如石英),只要有超过1%以上的反射率就能够被检测。
本系列适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测,应用领域包含:
触控面板 (Touch Panel)
太阳能板 (Solar Cell)
晶圆(Silicon Wafer or Sapphire Wafer)
光盘/硬盘(DVD Disk/Hard Disk)
微机电组件 (MEMS Components)
平面液晶显示器(LCD)
高密度线路印刷电路板( HDI  PCB )
IC封装( IC  Package)
精密微机械组件或模具(Micro Mechanical Parts or Mode)
以及其它材料分析与组件微表面研究。
纳米型3D影像检测仪深度高度分辨率达0.1nm
纳米型3D影像检测仪提供Z轴扫描分辨率0.1nm,平面空间分辨力0.5 um (50X物镜)的量测能力,zui高达12  um/s的垂直扫描速度,所具有的奈米3D显微形貌快速呈现能力是科研、研发、生产品检时所必备的工具。
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